书目详细信息
： MEMS原理及传感器应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-121-52789-0:CNY79.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | MEMS原理及传感器应用/.张光祖, 董文, 罗为主编 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2026.06 |
| 载体形态项： | xv, 212页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 集成电路系列丛书.集成微纳系统 |
| 一般附注： | 集成电路产业知识赋能工程 电子信息·Ei精品 |
| 提要文摘： | 本书围绕MEMS的基本物理原理、关键制造工艺、核心设计方法以及封装与应用技术进行了系统且深入的阐述。全书首先介绍MEMS在微观尺度下的力学行为及其数学建模方法, 随后详细解析典型微纳加工工艺与多物理场耦合设计方法; 在此基础上, 进一步介绍面向工程应用的封装与测试关键技术。通过选取典型的机电耦合MEMS器件及化学/生物MEMS器件实例, 展示其在实际应用中的广阔潜力与发展前景。 |
| 题名主题： | 微机电系统 应用 传感器 |
| 中图分类： | TP212 |
| 个人名称等同： | 张光祖 主编 |
| 个人名称等同： | 董文 主编 |
| 个人名称等同： | 罗为 主编 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20260826 |
| 记录来源： | CN GGNY 20260917 |