ISBN/价格: | 978-7-122-15622-8:CNY36.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 多晶硅生产技术/.刘秀琼,唐正林主编 |
出版发行项: | 北京:,化学工业出版社:,2013.01 |
载体形态项: | 252页:;+图:;+26cm |
一般附注: | 太阳能光伏产业——硅材料系列教材 |
提要文摘: | 本书主要讲述了改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程。内容包括三氧氢硅的合成、精馏提纯;三氯氢硅氢还原制备高纯硅、尾气干法回收、硅芯的制备等核心内容。 |
题名主题: | 硅 半导体材料 生产工艺 教材 |
题名主题: | 硅 |
题名主题: | 半导体材料 |
中图分类: | TN304.1 |
个人名称等同: | 刘秀琼 主编 |
个人名称等同: | 唐正林 主编 |
记录来源: | CN 人天书店 20130227 |