书目详细信息
： 微细加工与微纳加工技术及应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-122-36940-6:CNY79.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微细加工与微纳加工技术及应用/.赵波, 李伯民, 李清等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2021.01 |
| 载体形态项： | 214页:;+图:;+26cm |
| 提要文摘： | 微细加工与微纳加工技术是当前发展最快的技术之一, 已广泛应用于机械、微电子、材料、机电、化工、能源、航空航天、通信、生物技术、医疗卫生、军事等领域。本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书分别介绍了微切削加工技术, 微细电加工技术, 激光的微纳米加工技术, 面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术, 纳米机械加工原理、方法与实现; 还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。 |
| 并列题名： | Micro machining and micro-nano machining technologies and applications eng |
| 题名主题： | 特种加工 技术 |
| 中图分类： | TG66 |
| 个人名称等同： | 赵波 编著 |
| 个人名称等同： | 李伯民 编著 |
| 个人名称等同： | 李清 编著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20220825 |