书目详细信息
： 脉冲激光沉积类金刚石膜技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-051551-3:CNY168.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 脉冲激光沉积类金刚石膜技术/.程勇等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2017.05 |
| 载体形态项： | x, 422页:;+图:;+25cm |
| 提要文摘： | 全书共七章内容, 从介绍类金刚石膜性质、组成、制备及应用入手, 阐述了脉冲激光沉积技术及其在制备类金刚石膜方面的机理和优、缺点, 以及类金刚石膜的测试与表征; 详细讨论了激光参数、基底状态、靶材种类以及环境气氛等因素对类金刚石膜性能的影响, 偏重于阐述掺杂、退火、膜层结构及双激光技术等类金刚石膜降低内应力、提高膜层性能的改性技术; 针对类金刚石膜的工程应用中存在的大面积不均匀、制备效率低的现实问题, 展现了多功能激光沉积系统, 阐述了脉冲激光沉积大尺寸均匀平面和球面类金刚石膜的装置、模型及实验; 最后介绍了脉冲激光沉积技术在制备其他功能薄膜方面的应用, 展望了该技术未来发展趋势和前景。 |
| 并列题名： | Technology of diamond-like carbon films prepared by pulsed laser deposition eng |
| 题名主题： | 脉冲(力学) 激光淀积 应用 类金刚石膜 研究 |
| 中图分类： | TB43 |
| 个人名称等同： | 程勇 编著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20181102 |