书目详细信息
： 晶圆制造中的并行机调度
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-302-53663-5:CNY79.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 晶圆制造中的并行机调度/.张洁, 张朋著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2019.12 |
| 载体形态项： | x, 241页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 排序与调度丛书 |
| 一般附注： | “十三五”国家重点图书出版规划项目 |
| 提要文摘： | 本书在介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上, 分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法, 以及原型系统的开发和应用。 |
| 题名主题： | 半导体工艺 自动化系统 物料输送系统 并行控制 研究 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | 张洁 著 |
| 个人名称等同： | 张朋 著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20201119 |