书目详细信息
： 折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-118-12284-8:CNY169.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用/.张新宇, 谢长生著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2021.10 |
| 载体形态项： | 211页:;+图:;+25cm |
| 丛编项： | 现代微纳米光电成像探测技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书主要针对可见光、红外和太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构, 开展新的设计、工艺制作和测试评估方法的研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础, 有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法, 建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系。 |
| 题名主题： | 刻蚀 研究 |
| 中图分类： | TN405.98 |
| 个人名称等同： | 张新宇 著 |
| 个人名称等同： | 谢长生 著 |
| 记录来源： | CN 百万庄 20230315 |