书目详细信息
： 微光机电系统
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-03-013313-7:38.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微光机电系统/.(日)泽田廉士等著/.李元燮译 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2005.1 |
| 载体形态项： | 347页:;+24cm |
| 一般附注： | 统一题名：Optical MEMS/MOEMS |
| 提要文摘： | 本书第一篇介绍微光机电系统在各领域中的应用，即开关、反射镜阵列、显示器等；第二篇介绍微光机电系统中应用的光学原理，即光的反射与折射、干涉、衍射等；第三篇介绍材料、制造、封装等。 |
| 并列题名： | Optical MEMS/MOEMS eng |
| 题名主题： | 机电系统 机电系统 |
| 中图分类： | TH-39 |
| 个人名称等同： | 泽田廉士等 著 |
| 个人名称次要： | 李元燮 译 |
| 记录来源： | CN NLC 20050314 |