书目详细信息
： 硅集成电路工艺基础
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-301-24109-7:CNY52.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 硅集成电路工艺基础/.关旭东编著 |
| 版本项： | 第2版 |
| 出版发行项： | 北京:,北京大学出版社:,2014.4 |
| 载体形态项： | 391页:;+图:;+23cm |
| 丛编项： | 21世纪微电子学专业规划教材 |
| 一般附注： | 普通高等教育“十二五”国家级规划教材 |
| 提要文摘： | 本书是《硅集成电路工艺基础》的第二版教材, 作者在第一版的基础上系统的讲述了硅集成电路制造的基础工艺, 加深了工艺物理基础和基本原理的介绍。增加了工艺集成例子的介绍。 |
| 并列题名： | Fundamentals of silicon integrated circuit technology eng |
| 题名主题： | 硅集成电路 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TN432 |
| 个人名称等同： | 关旭东 编著 |
| 记录来源： | CN 三新书业 20140919 |