书目详细信息
： 微电子制造技术实验教程
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-044494-3:CNY29.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微电子制造技术实验教程/.王姝娅[等]编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2015.06 |
| 载体形态项： | 11,152页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微电子专业实验教材系列丛书 |
| 一般附注： | “电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心”系列规划教材 教育部“卓越工程师教育培养计划”系列规划教材 |
| 提要文摘： | 本书以微电子器件制造过程为主线，重点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础知识和实验方法。第1、2章介绍清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、沉积等相关制造工艺的基础知识和基础实验，详细阐述各项单步工艺的实验原理、实验设备、实验方法和步骤。第3章介绍微电子器件制造过程中的物理性能测试实验和电学性能测试实验。第4章介绍二极管、肖特基二极管、三极管、CMOS管、集成电阻器等器件的制造以及集成运算放大器的参数测试、逻辑IC功能和参数的测试两个综合实验。 |
| 题名主题： | 微电子技术 实验 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TN4-33 |
| 个人名称等同： | 王姝娅 编著 |
| 记录来源： | CN BP 20161208 |