书目详细信息
： 微机电系统 (MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-64958-8:CNY139.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统 (MEMS)/.(美) 维卡斯·乔杜里, (加) 克日什托夫·印纽斯基主编/.周海宪, 程云芳, 周华伟等译 |
| 版本项： | 第5版 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2020.05 |
| 载体形态项： | XXIII, 383页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书 |
| 提要文摘： | 本书共19章, 分为两大部分: 第1-9章为技术部分, 讨论各类新型微机电系统 (MEMS) 器件 ; 第10-19章属应用部分, 详细阐述以MENS为基础的各种新颖的应用。 |
| 题名主题： | 微机电系统 研究 |
| 中图分类： | TH-39 |
| 个人名称等同： | 乔杜里 主编 |
| 个人名称等同： | 印纽斯基 主编 |
| 个人名称次要： | 周海宪 译 |
| 个人名称次要： | 程云芳 译 |
| 个人名称次要： | 周华伟 译 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20200612 |