书目详细信息
： 面向集成电路装备的静电卡盘静电力测量
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5236-1807-3:CNY78.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 面向集成电路装备的静电卡盘静电力测量/.王珂晟著 |
| 出版发行项： | 北京:,中国科学技术出版社:,2025.12 |
| 载体形态项： | 203页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书围绕静电卡盘静电力测量问题, 系统构建了涵盖宏观工程应用和微观机理探究的理论与方法体系, 从测量原理创新、实验平台研制、仿真方法验证、统一理论框架建立、参数敏感性分析、微纳尺度测量技术运用等方面开展了深入研究。 |
| 题名主题： | 集成电路工艺 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 王珂晟 著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20260824 |
| 记录来源： | CN GGNY 20260918 |