书目详细信息
： 微米纳米器件设计
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-118-09784-9:CNY118.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微米纳米器件设计/.黄庆安, 周再发, 宋竞著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2014.12 |
| 载体形态项： | xix, 358页, 16页图版:;+图 (部分彩图):;+24cm |
| 丛编项： | 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列 |
| 一般附注： | “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
| 提要文摘： | 本书是MEMS设计的专著, 主要介绍MEMS器件、系统和工艺的模型、模拟以及设计方法。在器件级设计中, 介绍微传感器和微执行器的工作原理, 偏微分方程和耦合偏微分方程的有限元网格划分、算法及后处理方法; 在系统级设计中介绍MEMS系统级建模方法, 例如接点分析法等效电路法、VHDL等; 在MEMS工艺模型中, 介绍主要加工方法如硅各向异性腐蚀、DRIE、UV-LIGA等工艺模型及相关算法( 元胞自动机、线算法等) 。最后介绍MEMS设计软件结构、模块以及使用方法和算例。 |
| 并列题名： | Design of micro/nano devces eng |
| 题名主题： | 纳米材料 微电子技术 电子器件 设计 |
| 中图分类： | TN402 |
| 个人名称等同： | 黄庆安 著 |
| 个人名称等同： | 周再发 著 |
| 个人名称等同： | 宋竞 著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20161104 |