书目详细信息
： 半导体薄膜技术基础
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-121-32880-0:CNY49.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 半导体薄膜技术基础/.李晓干, 刘勐, 王奇编著 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2018.02 |
| 载体形态项： | 140页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 微电子与集成电路设计系列规划教材 |
| 提要文摘： | 本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍, 主要包括作为最重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术, 在对各种技术进行介绍的同时, 还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。 |
| 题名主题： | 半导体薄膜技术 高等教育 教材 |
| 中图分类： | TN304 |
| 个人名称等同： | 李晓干 编著 |
| 个人名称等同： | 刘勐 编著 |
| 个人名称等同： | 王奇 编著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20180315 |