书目详细信息
： 一本书读懂芯片制程设备
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-72041-6:CNY99.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 一本书读懂芯片制程设备/.王超[等] 编著 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2023.02 |
| 载体形态项： | 254页:;+图 (部分彩图):;+24cm |
| 丛编项： | 集成电路科学与技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域 (集成电路及专用设备) 等重大需求, 编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石, 是各国竞相角逐的“国之重器”, 也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备作为集成电路产业链的最上游, 贯穿于芯片制造全过程, 是决定产业发展的最关键一环。本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备, 并着重分析了芯片制程设备的国内外市场环境; 然后, 针对具体工艺技术涉及设备, 详细综述了设备原理及市场情况; 最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。 |
| 题名主题： | 集成电路 芯片 工业生产设备 |
| 中图分类： | TN43 |
| 个人名称等同： | 王超 编著 |
| 个人名称等同： | 姜晶 编著 |
| 个人名称等同： | 牛夷 编著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20231028 |