书目详细信息
： MEMS集成设计技术及应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-118-09583-8:CNY99.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | MEMS集成设计技术及应用/.苑伟政, 谢建兵, 焦文龙著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2014.11 |
| 载体形态项： | xviii, 294页, 16页图版:;+图 (部分彩图):;+24cm |
| 丛编项： | 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列 |
| 一般附注： | 国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
| 提要文摘： | 本书首先在简要介绍MEMS设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了详细的分析与论述。然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMS Garden的特色做了介绍，并通过杠杆放大微加速度计说明了其操作方法。最后，通过大量不同种类的MEMS器件的设计实例验证了MEMS Garden的通用性与先进性。 |
| 并列题名： | MEMS integrated design technologies and their applications eng |
| 题名主题： | 微电子技术 研究 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 苑伟政 著 |
| 个人名称等同： | 谢建兵 著 |
| 个人名称等同： | 焦文龙 著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20150122 |