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： 氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5024-6917-7:CNY25.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例/.赵祥敏, 赵文海著 |
| 出版发行项： | 北京:,冶金工业出版社:,2015.06 |
| 载体形态项： | x, 132页:;+图:;+21cm |
| 提要文摘： | 本书以实例的形式, 介绍了用磁控溅射法制备氧化锌 (ZnO) 薄膜、氮化铝 (AlN) 薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章, 主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用, ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段, ZnO薄膜、AlN薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征, 不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响, 退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响等内容。 |
| 题名主题： | 氧化锌 薄膜技术 |
| 题名主题： | 氮化铝 薄膜技术 |
| 中图分类： | TB43 |
| 个人名称等同： | 赵祥敏, 著 |
| 个人名称等同： | 赵文海 著 |
| 记录来源： | CN 三新书业 20161122 |