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书目详细信息： 微机电系统

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《微机电系统》

ISBN/价格：	7-5025-4320-1:CNY15.00
作品语种：	chi
出版国别：	CN 110000
题名责任者项：	微机电系统/.梅涛，伍小平主编
出版发行项：	北京:,化学工业出版社:,2003.1
载体形态项：	197页:;+图:;+21cm
丛编项：	高新技术科普丛书
一般附注：	国家科普知识重点图书
提要文摘：	本书共分7章，分别介绍了微机械加工技术、微传感器、微执行器、真空微电子器件及典型系统与应用，并列举了大量应用实例，使读者对微机电系统知识有了一进步的认识。
中图分类：	TM38-49
中图分类：	TH-39
个人名称等同：	梅涛主编
个人名称等同：	伍小平主编

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