书目详细信息
： 直拉硅单晶生长过程建模与控制
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-043346-6:CNY165.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 直拉硅单晶生长过程建模与控制/.刘丁著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2015.06 |
| 载体形态项： | xiii, 285页:;+图 (部分彩图):;+25cm |
| 提要文摘： | 本书源于作者在直拉硅单晶生长过程建模与控制领域十余年的研究心得与成果积累。在对硅单晶生长工艺及制备理论进行全面论述的基础上, 系统介绍了直拉硅单晶长征的基本原理和工艺过程以及热场、磁场等关键部件的设计理念与方法。 |
| 题名主题： | 直拉硅单晶 晶体生长 过程模拟 建立模型 |
| 题名主题： | 直拉硅单晶 晶体生长 过程控制 |
| 中图分类： | TN304 |
| 中图分类： | TP273 |
| 个人名称等同： | 刘丁 著 |
| 记录来源： | CN 人天书店 20150806 |