ISBN/价格: | 978-7-111-55733-3:CNY169.00 |
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作品语种: | chi eng |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 微机电系统基础/.(美)盖德主编/.赵永梅, 段瑞飞, 季安译 |
出版发行项: | 北京:,机械工业出版社:,2017.03 |
载体形态项: | xiii, 394页:;+图:;+27cm |
丛编项: | 国际制造业先进技术译丛 |
相关题名附注: | 英文题名原文取自版权页 |
提要文摘: | 本书是MEMS手册中的基础部分, 提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑, 还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。这些内容涉及未来应用的各种重要基础知识, 将其应用于微传感器和微执行器能够实现节约能源的有效控制并提高人工装置性能。 |
题名主题: | 微电子技术 |
中图分类: | TN4 |
个人名称等同: | 盖德 主编 |
个人名称次要: | 赵永梅 译 |
个人名称次要: | 段瑞飞 译 |
个人名称次要: | 季安 译 |
记录来源: | CN 湖北三新 20181101 |