书目详细信息
： 新型微机电系统与器件
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5606-6530-6:CNY49.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 610000 |
| 题名责任者项： | 新型微机电系统与器件/.主编马宗敏 |
| 出版发行项： | 西安:,西安电子科技大学出版社:,2022.10 |
| 载体形态项： | 312页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 高等学校微电子类专业系列教材 |
| 相关题名附注： | 英文并列题名取自封面 |
| 提要文摘： | 本书力图从几类最新的传感器入手介绍新型微机电器件及系统, 全书共分七章, 主要内容包括: 近年来微机电系统的发展, MEMS惯性器件及系统的原理、工艺、最新发展, 回音壁模式微腔器件及系统, 典型水声传感器件及系统, 典型高温压力传感器件及系统, 最新的量子传感器件及系统, 柔性传感器件及系统。 |
| 并列题名： | New micro-electro-mechanical systems and devices eng |
| 题名主题： | 微机电系统 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TH-39 |
| 个人名称等同： | 马宗敏 主编 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20230922 |