书目详细信息
： 原子层沉积技术:原理及其应用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-048375-1:CNY98.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 原子层沉积技术/.李爱东编著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2016.06 |
| 载体形态项： | 381页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 南京大学材料科学与工程系列丛书 |
| 提要文摘： | 本书共分13章, 内容包括原子层沉积的发展历史、原理、前驱体、沉积材料及其理论计算与模拟等基础内容, 又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积技术, 还涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学、能源、催化和生物医学领域的应用。 |
| 题名主题： | 原子 沉积 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TB3 |
| 个人名称等同： | 李爱东 编著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20161031 |