书目详细信息
： 微电子机械加工系统 (MEMS) 技术基础
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5024-4794-6:CNY26.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微电子机械加工系统 (MEMS) 技术基础/.孙以材, 庞冬青编著 |
| 出版发行项： | 北京:,冶金工业出版社:,2009.03 |
| 载体形态项： | 194页:;+图:;+20cm |
| 提要文摘： | 本书介绍微电子机械加工 (MEMS) 技术基础, 详细介绍了电学、热血和力学有限元方法的要领, 相关软件的使用及硅片的加工处理方法等。 |
| 题名主题： | 微电子技术 生产工艺 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 孙以材 编著 |
| 个人名称等同： | 庞冬青 编著 |
| 记录来源： | CN 三新书业 20161122 |