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： 现代高纯气体:制取、分析与安全使用
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-044967-2:CNY108.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 现代高纯气体/.尹恩华著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2015.07 |
| 载体形态项： | 336页:;+图:;+24cm |
| 提要文摘： | 本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡和清洗等, 无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是本书的核心, 在制取高纯气体方面, 本书介绍国内外最新文献, 包括: 吸附、精馏、离子液体、贮氢材料、钯扩散、熔体合金、膜分离、吸杂剂、多级离心和制备色谱等新技术。除了气相色谱是气体分析的主体外, 书中介绍最新光谱、质谱和纳米技术在高纯气体中杂质分析的应用。考虑高纯气体绝大部分都是易燃易爆和剧毒气体, 使用的安全措施尤为重要, 其内容还包括: 容器、介质、传感器和废气的节能减排。 |
| 题名主题： | 工业气体 化工生产 |
| 中图分类： | TQ116 |
| 个人名称等同： | 尹恩华 著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20161031 |