书目详细信息
： 传感器与MEMS设计制造技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-118-13400-1:CNY268.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 传感器与MEMS设计制造技术/.朱真等编著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2024 |
| 载体形态项： | xxi, 662页:;+图 (部分彩图):;+25cm |
| 丛编项： | 传感器与MEMS技术丛书 |
| 丛编项： | 国家出版基金项目 |
| 提要文摘： | 本书主要介绍了MEMS传感器的设计制造技术与应用，从MEMS的概念与典型MEMS传感器出发，阐述了硅基MEMS器件设计制造的技术原理与工艺流程，介绍了部分非硅基特殊材料传感器的制造技术，结合相关案例展望了MEMS设计制造领域设备和工艺的发展趋势。 |
| 并列题名： | Design and manufacturing technology for sensors and MEMS eng |
| 题名主题： | 微机电系统 应用 传感器 |
| 中图分类： | TP212 |
| 个人名称等同： | 朱真 编著 |
| 记录来源： | CN 百万庄 20260921 |
| 记录来源： | CN GGNY 20261003 |