书目详细信息
： 新型微纳传感器技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-122-42346-7:CNY128.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 新型微纳传感器技术/.赵玉龙, 蒋庄德著 |
| 出版发行项： | 北京:,化学工业出版社:,2022.12 |
| 载体形态项： | 244页:;+图:;+27cm |
| 丛编项： | 西安交通大学研究生“十四五”规划精品系列教材 |
| 提要文摘： | 本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构, 阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用。本书主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。 |
| 并列题名： | Micro and nano sensor technology eng |
| 题名主题： | 微电机 传感器 |
| 中图分类： | TP212 |
| 个人名称等同： | 赵玉龙 著 |
| 个人名称等同： | 蒋庄德 著 |
| 记录来源： | CN 百万庄 20230315 |