书目详细信息
： 微系统设计
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-121-00422-4:59.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微系统设计/.(美)Stephen D.Senturia著/.刘泽文等译 |
| 出版发行项： | 北京:,电子工业出版社:,2004 |
| 载体形态项： | 14,453页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 国外电子与通信教材系列 |
| 一般附注： | 统一题名：Microsystem Design |
| 提要文摘： | 本书介绍了涉及微机电系统(MEMS)设计的方法、理论和技术，包括MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟、相关电子线路与系统。 |
| 并列题名： | Microsystem Design eng |
| 题名主题： | 微电机 教材 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | Senturia Stephen D. (美) 著 |
| 个人名称次要： | 黄庆安 译 |
| 记录来源： | CN 110017 20041206 |