书目详细信息
： 多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-301-33905-3:CNY68.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器/.陆学斌著 |
| 出版发行项： | 北京:,北京大学出版社:,2023.4 |
| 载体形态项： | 160页:;+图:;+23cm |
| 提要文摘： | 本书对多晶硅纳米薄膜的压阻特性及其在压力传感器上的应用进行了研究。本书共分为五章, 第一章主要介绍了多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状, 第二章主要介绍了工艺条件对多晶硅纳米薄膜压阻特性的影响, 第三章主要介绍了多晶硅纳米薄膜的杨氏模量, 第四章主要介绍了多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用, 第五章主要介绍了多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。 |
| 题名主题： | 多晶 纳米材料 薄膜 硅压力传感器 |
| 中图分类： | TP212 |
| 个人名称等同： | 陆学斌 著 |
| 记录来源： | CN 百万庄 20230315 |