书目详细信息
： 微机电系统 (MEMS) 制造技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-03-039974-8:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统 (MEMS) 制造技术/.苑伟政, 乔大勇著 |
| 出版发行项： | 北京:,科学出版社:,2014.03 |
| 载体形态项： | 240页:;+图:;+25cm |
| 丛编项： | 微纳制造的基础研究学术著作丛书 |
| 提要文摘： | 微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科, 它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响, 并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实现微机电器件的制造技术起源于微电子和半导体, 但是又在微电子和半导体工艺的基础上发展和集成, 具备自己独特的特色。国内目前有关MEMS制造技术的专著或者是直接翻译国外著作, 或者是脱胎于半导体工艺的相关内容, 缺乏真正结合国内MEMS发展条件, 结合MEMS工艺实践经验撰写的专门著作。 |
| 题名主题： | 微电机 生产工艺 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 苑伟政 著 |
| 个人名称等同： | 乔大勇 著 |
| 记录来源： | CN 三新书业 20140919 |