书目详细信息
： 微系统设计与制造
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-302-39167-8:CNY98.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微系统设计与制造/.王喆垚编著 |
| 版本项： | 第2版 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2015.10 |
| 载体形态项： | x, 742页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 信息、控制与系统技术丛书 |
| 提要文摘： | 本书结合微系统 (MEMS) 技术的基础理论、典型器件和发展趋势, 介绍微系统的力学、电学和物理学基本理论, 针对典型器件的分析设计方法和制造技术, 以及多个前沿应用领域, 力争成为具有一定深度和广度的MEMS领域的教材和实用参考书。主要内容包括: 微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS, 以及微流体和芯片实验室。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合, 在基础理论和制造技术的基础上, 深入介绍多种典型和量产MEMS器件的设计和制造方法, 以及重点和前沿应用研究领域的发展。 |
| 并列题名： | Microsystem design and fabrication eng |
| 题名主题： | 微电子技术 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 王喆垚 编著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20161123 |