书目详细信息
： 晶圆制造自动化物料运输系统调度
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5680-0902-7:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 420000 |
| 题名责任者项： | 晶圆制造自动化物料运输系统调度/.张洁, 秦威, 吴立辉著 |
| 出版发行项： | 武汉:,华中科技大学出版社:,2015.12 |
| 载体形态项： | 263页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 先进生产规划与调度理论研究丛书 |
| 一般附注： | 国家科学技术学术著作出版基金资助 “十二五”国家重点图书出版规划项目 |
| 提要文摘： | 本书在系统、深入地分析AMHS建模方法和运行特性分析方法的基础上, 分别介绍了AMHS中的Interbay系统和Intrabay系统的优化调度方法, 介绍了AMHS集成调度和AMHS调度性能评价方法。 |
| 题名主题： | 半导体工艺 自动化系统 物料输送系统 研究 |
| 中图分类： | TN305 |
| 个人名称等同： | 张洁 著 |
| 个人名称等同： | 秦威 著 |
| 个人名称等同： | 吴立辉 著 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20161216 |