书目详细信息
： 微机电技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5606-3335-0:CNY50.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 610000 |
| 题名责任者项： | 微机电技术/.田文超, 娄利飞编著 |
| 出版发行项： | 西安:,西安电子科技大学出版社:,2014.08 |
| 载体形态项： | 412页:;+图:;+23cm |
| 丛编项： | 新兴微纳电子技术丛书 |
| 一般附注： | “十二五”国家重点图书出版规划项目 陕西出版资金资助项目 |
| 提要文摘： | 本书系统地介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要内容, 包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用, RF MEMS及重构天线, MEME力学问题等。 |
| 题名主题： | 微电机 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 田文超 编著 |
| 个人名称等同： | 娄利飞 编著 |
| 记录来源： | CN 三新书业 20150914 |