书目详细信息
： Design, fabrication and CAD for MEMS devices
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5124-2109-7:CNY65.00 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | Design, fabrication and CAD for MEMS devices/.郭占社 |
| 出版发行项： | 北京:,北京航空航天大学出版社:,2016 |
| 载体形态项： | 272页:;+图:;+23cm |
| 丛编项： | 北京航空航天大学“研究生英文教材”系列丛书 |
| 提要文摘： | 本书内容包括静态与模态分析、电容分析、热结构分析、疲劳分析等。首先介绍了MEMS的相关基本理论，微机电系统的重要材料和制造工艺。在这些理论的基础上，对设计规则和重要的工程实例都进行了详细描述。然后，结合MEMS(包括加速度测量)的许多工程应用介绍了角速度测量和压力测量。最后，介绍了利用有限元方法来证明设计的正确性。 |
| 并列题名： | 微机电器件设计、制造及计算机辅助设计 chi |
| 题名主题： | 微电子技术 研究生 教材 英文 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 郭占社 编著 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20160718 |