书目详细信息
： MEMS材料与工艺手册
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5641-4053-3:CNY198.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 320000 |
| 题名责任者项： | MEMS材料与工艺手册/.(美)利萨·格迪斯, 林斌彦著/.Reza Ghodssi, Pinyen Lin/.黄庆安等译 |
| 出版发行项： | 南京:,东南大学出版社:,2014.03 |
| 载体形态项： | 14, 966页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微纳系统系列译丛 |
| 提要文摘： | 微机电系统 (MEMS) 技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。 |
| 题名主题： | 微电子技术 电子材料 手册 |
| 题名主题： | 微电子技术 生产工艺 手册 |
| 中图分类： | TN4-62 |
| 个人名称等同： | 格迪斯 著 |
| 个人名称等同： | 林斌彦 著 |
| 个人名称次要： | 黄庆安 译 |
| 记录来源： | CN 三新书业 20151104 |