书目详细信息
： 微机电系统原理
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-118-09432-9:CNY180.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统原理/.(韩)Ki Bang Lee著/.马晓军 等译 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2014.04 |
| 载体形态项： | x, 597页:;+图:;+25cm |
| 丛编项： | 国防科技著作精品译丛 |
| 提要文摘： | 本书通过一种统一的方法和微观力学问题的解析解 (封闭形式解) 阐述了MEMS的原理。全书以概述MEMS开始, 并介绍了量纲分析, 提供了在宏观和微观世界中存在的基本无量纲参数。然后说明了微制造, 给出了设计实际MEMS的一般制造工艺相关的知识。提供了元件和系统的理论模型, 并获得了静态和动态响应的解析解。 |
| 题名主题： | 微机电系统 理论 |
| 中图分类： | TH-39 |
| 个人名称等同： | 李基邦 著 |
| 个人名称次要： | 马晓军 译 |
| 个人名称次要： | 吕强 译 |
| 记录来源： | CN 湖北三新 20171103 |